半導(dǎo)體FPD檢查金相顯微鏡

產(chǎn)品簡介
半導(dǎo)體FPD檢查金相顯微鏡支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查，含 4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗。

產(chǎn)品型號：MX12R

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：2193

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

實驗檢測儀器

表面3D輪廓儀三維光學(xué)形貌儀材料試驗機光學(xué)軸類測量儀超景深三維顯微鏡粗糙度測量儀共面性測試儀接觸角測定儀一鍵式快速測量儀精密測量投影儀 CNC全自動影像儀 3D三坐標(biāo)測量機快速尺寸測量儀測量金相顯微鏡刀具投影測量儀金相光學(xué)顯微鏡磨刀機顯微鏡測量分析顯微鏡視頻測量顯微鏡金屬材料顯微鏡高倍金相顯微鏡光學(xué)輪廓顯微鏡水滴角界面測量儀界面張力測量儀超低界面張力儀平面度測試儀臥式影像測量儀精密影像測量儀

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半導(dǎo)體FPD檢查金相顯微鏡

仰角可調(diào)觀察筒

0-35°觀察角度可調(diào)，適合不同身高的用戶，降低了對工作環(huán)境的要求，讓不同的使用者都能找到觀察角度，減輕了長時間工作帶來的不適與疲勞，大幅度提高工作效率。

全新離合驅(qū)動式載物臺

MX12R 采用離合式手柄，用戶按下離合扳手就可靈活移動平臺，無需長時間捏緊手柄；按下離合按鈕，取消快速移動。避免長時間操作出現(xiàn)手麻現(xiàn)象，并加快觀察速度。 MX12R 引入精密導(dǎo)軌傳動機構(gòu)，移動輕順暢，產(chǎn)品穩(wěn)定可靠。

安全、高速的電動式物鏡轉(zhuǎn)換器

設(shè)有前進、后退兩檔切換模式，可快速、準(zhǔn)確定位到所需要的觀察倍率，重復(fù)定位精度高。機械式的切換模式，有效提升了轉(zhuǎn)換器的使用壽命。

按鍵觸手可及，助您提高工作效率

MX12R 物鏡與孔徑光闌采用電動控制系統(tǒng)，其操作按鍵位于儀器正前方，讓您觸手可及。人性化的電動設(shè)計不僅避免了頻繁的手動操作步驟，也使您的檢測工作也更加準(zhǔn)確、靈活。

防震支架設(shè)計

機身由六端支架支撐，低重心、高穩(wěn)定性全金屬機架，具備強效的抗震功能，確保像質(zhì)穩(wěn)定。

豐富的應(yīng)用領(lǐng)域

MX12R 集成了明場、暗場、偏光、DIC 等多種觀察功能。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具等檢測。

半導(dǎo)體FPD檢查金相顯微鏡 技術(shù)規(guī)格

光學(xué)系統(tǒng)

無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)

觀察方式

明場/暗場/偏光/DIC

觀察筒

無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾角可調(diào),正像,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm，分光比 100:0 或 0:100

目鏡

高眼點大視野平場目鏡 PL10X/25mm，視度可調(diào)，可帶單刻度十字分劃版

物鏡

無限遠(yuǎn)明暗場半復(fù)消金相 DIC 物鏡 5X 10X 20X 50X 100X

無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消金相 DIC 物鏡 20X

無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消金相物鏡 50X 100X

轉(zhuǎn)換器

明暗場六孔電動轉(zhuǎn)換器，帶 DIC 插槽

機架組

反射式機架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。粗調(diào)行程35mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)

透反機架，前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。粗調(diào)行程 35mm，微調(diào)精度 0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)

載物臺

右手位 14×12 英寸三層機械移動平臺，低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ；平臺面積 718mmX420mm，移動范圍：356mmX305mm

帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動；玻璃載物臺板 ( 反射用）

電動平臺

面積 495mmX641mm，移動范圍：306mmX306mm ；軟件控制 X、Y 移動，重復(fù)定位精度，（3+L/50）μm 帶平板平臺

照明系統(tǒng)

明暗場反射照明器 , 帶可變電動孔徑光闌，視場光闌 , 中心均可調(diào) ；帶明暗場照明切換裝置；帶濾色片插槽與偏光裝置插槽

攝影攝像附件

0.5X/0.65X/1X 攝像接筒，C 型接口，可調(diào)焦

其他

起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，反射用干涉濾色片組；高精度測微尺；DIC 組件

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